真空等離子清洗機是在密閉腔體抽真空環境下電離工藝氣體，依靠物理濺射和化學反應實現材料納米級精密表面處理的工業/實驗室精密設備，可完成無痕除污、表面活化、刻蝕、接枝改性，全程低溫無化學溶劑，適配半導體、生物醫藥、精密電子、光學器件等高潔凈要求場景。

　　功能：

　　清洗去污：去除指紋、油脂、助焊劑殘膠、脫模劑、微米粉塵；

　　表面活化：提升表面能，解決 PP、PTFE、硅橡膠難粘、油墨掉漆問題；

　　等離子刻蝕：定向微刻、晶圓去膠、薄膜微加工；

　　表面接枝/鍍膜：通入特殊氣體實現疏水、親水長效改性。

　　真空等離子清洗機的使用注意事項：

　　氣體安全：使用氫氣等易燃的氣體時需配備防爆裝置和氣體泄漏檢測；含氟氣體需確認管路耐腐蝕性

　　真空維護：定期檢查密封圈和真空泵油(油泵機型)，確保真空度穩定

　　電極清潔：長期使用后電極表面可能沉積污染物，需定期清理以保證等離子體均勻性

　　樣品固定：確保工件在腔內放置穩固，避免等離子體轟擊導致移位

　　工藝驗證：初次使用新材質時建議先做小樣測試，通過接觸角測量或達因筆測試驗證處理效果

　　停機保護：長期不用時應關閉所有氣源和電源，腔體內保持干燥